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簡(jiǎn)要描述:氧分析儀Gasboard-3053搭載高穩(wěn)定性的氧化鋯核心傳感器,覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測(cè)量。具有測(cè)量精度高、響應(yīng)時(shí)間快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn),可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域,為關(guān)鍵的過(guò)程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計(jì),體積小巧,便于在復(fù)雜?況下安裝,同時(shí)配備直觀豐富的用戶界面,提供人機(jī)交互體驗(yàn)。
產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品名稱:氧分析儀
產(chǎn)品型號(hào):Gasboard-3053
產(chǎn)品概述
氧分析儀Gasboard-3053搭載高穩(wěn)定性的氧化鋯核心傳感器,覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測(cè)量。具有測(cè)量精度高、響應(yīng)時(shí)間快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn),可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域,為關(guān)鍵的過(guò)程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計(jì),體積小巧,便于在復(fù)雜?況下安裝,同時(shí)配備直觀豐富的用戶界面,提供人機(jī)交互體驗(yàn)。
產(chǎn)品特性
測(cè)量精度?,ppm級(jí)別測(cè)量
響應(yīng)速度快,秒級(jí)出數(shù)
即插即??體化設(shè)計(jì)
內(nèi)置采樣泵與過(guò)濾系統(tǒng),安裝維護(hù)便捷
本地化端到端服務(wù)保障
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體、LED等?產(chǎn)過(guò)程中氧濃度控制、惰性保護(hù)?體?產(chǎn)及焊接?藝中氧濃度監(jiān)測(cè)、空?分離加??藝中氧濃度測(cè)定、真空?套箱系統(tǒng)中氧含量的監(jiān)控
技術(shù)參數(shù)
微量-常量氧分析儀 | ||
功能性能需求 | 檢測(cè)氣體 | O2 |
量程范圍 | 0~10~100~1000ppm,0~25%,自動(dòng)切換 | |
檢出限 | 0.5ppm | |
分辨率 | 0.1ppm | |
準(zhǔn)確度/示值誤差/精度 (ppm=氧分壓/當(dāng)前?作總壓) | ≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm 以較大值為準(zhǔn) | |
響應(yīng)時(shí)間 | T90≤10s | |
預(yù)熱時(shí)間 | ≤20min | |
零點(diǎn)漂移 | ±0.5%F.S. | |
量程漂移 | ±0.5%F.S. | |
重復(fù)性 | ±0.5%F.S. | |
電氣結(jié)構(gòu) | 通訊協(xié)議 | RS-232,RS-485 |
氣路接口 | 進(jìn)氣/出氣 1/4''VCR-F | |
結(jié)構(gòu)形式 | 一體式 | |
結(jié)構(gòu)尺寸(L*W*D) | 210*134*300mm | |
環(huán)境要求 | 傳感器(RSM)工作溫濕度 | 溫度:0~50℃;濕度:0~95%RH,非冷凝 |
采樣流量 | 0.5~1L/min傳感器內(nèi)設(shè)控流組件 |
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